AR级氢氟酸
CAS:No. 7664-39-3
价格:商议
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2023-10-09
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英文名 hydrofluoric acid,分子式HF,分子量 20. 01。为无色透明液体 ,相对密度1. 15~1 . 18,沸点 112 . 2 ℃,在空气中发烟 ,有刺激性气味 ,剧毒。能与一般金属、 金属氧化物以及氢氧化物发生反应 ,生成各种盐类。腐蚀性极强 ,能侵蚀玻璃和硅酸盐而生成气态的四氟化硅。易溶于水、醇 ,难溶于其他有机溶剂。高纯氢氟酸为强酸性清洗、 腐蚀剂 ,可与硝酸、冰醋酸、 双氧水及氢氧化铵等配置使用。
品牌 润祥 CAS No. 7664-39-3 中文名 电子级氢氟酸 外文名 hydrofluoric acid 分子式 HF 分子量 20. 01 相对密度 1. 15~1 . 18 沸 点 112 . 2 ℃ 浓度 45% 检测报告 点击下载 因各微电子生产企业对电子级氢氟酸要求的标准不同,可将其划分为四个档次:
1 低档产品,用于>1.2μmIC工艺技术的制作;
2 中低档产品,适用于0.8~1.2μmIC工艺技术的制作;
3 中高档产品,适用于0.2~0.6μmIC工艺技术的制作;
4 高档产品(UPss),适用于0.09~0.2μm和<0.09μmIC工艺技术的制作。
应用于集成电路 ( I C)和超大规模集成电路 (VLSI)芯片的清洗和腐蚀 ,是微电子行业制作过程中的关键性基础化工材料之一 ,还可用作分析试剂和制备高纯度的含氟化学品。在国内基本上是作为蚀刻剂和清洗剂用于微电子行业, 其他方面用量较少。